pulvérisation ionique réactive
- pulvérisation ionique réactive
- reaktyvusis joninis dulkinimas
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. reactive ion sputtering
vok. reaktives Sputtern, n
rus. реактивное ионное распыление, n
pranc. pulvérisation ionique réactive, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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